化學氣相沉積爐基本信息

C/C復合材料是一種炭纖維增強炭基體的先進復合材料，具有低密度、高比強、耐高溫(3000℃)、 摩擦磨損性能優異等特點。早期，通過試驗方法研制出的 C/C復合材料產品主要用于航空航天領域，如軍用飛機制動盤、火箭發動機噴管、燃燒室、鼻錐等關鍵部件。目前，C/C復合材料因其優異的性能，廣泛應用于現代交通、大型制造業、國家大型核能工程、現代國防建設、高溫熱防護、半導體工業、熱壓模具等領域。
C/C復合材料制備的關鍵技術是炭纖維預制體的致密化-CVI工藝。C/C復合材料化學氣相沉積爐是CVI工藝的專用設備，是在一定的真空或惰性氣氛條件下，利用電阻發熱的原理將爐內工件加熱到一定溫度后，通入碳源性氣體，氣體在高溫下裂解后產生含碳物質，沉積于工件表面，達到組織增密的目的。
鑒于C/C復合材料廣泛的應用領域和廣闊的市場前景，我公司研制出了目前國內最大的C/C復合材料化學氣相沉積爐（Φ2800x3600mm），主要用于大型C/C制品的化學氣相沉積，也可進行全程真空炭化處理。

1）爐底混合性碳源性氣體進氣及氣體分配系統；
2）爐膽內外真空度微壓差控制系統；
3）防旋轉水冷電極結構；
4）新型過濾裝置；

代表業績

業主：西安超碼科技有限公司

項目類型：EP總成套
項目產能：1300噸/年
項目狀態：2013年投產
技術性能：3臺Φ2800×H 3600mm沉積爐，12臺Φ1800×H3400mm的沉積爐。 最大裝載量：6.5 t，額定溫度：1060℃，均溫區溫差： ≤15℃，連續工作時間：≥300h，最大升溫速率：100℃/h，壓升率：≤0.002MPa/4h，冷態極限真空度：≤－0.1MPa。工作氣氛：天然氣、丙烯、及相應反應產物、氮氣、炭氈揮發物。